- 氦质谱检漏仪在半导体设备的运用
- 发布时间：2023-03-08 浏览量：826
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半导体设备真空系统出现故障一般分为两类:一是真空泵组及测量系统的故障, 另一个是真空系统的泄漏。对于第一类故障, 检测真空泵的极限真空度或更换好的真空计就可以确认。对于第二类故障则需要检漏。在对半导体设备检漏时常使用两种方法: 静压检漏法和氦质谱检漏法。静压检漏法...
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- 真空箱氦检漏系统中常用的橡胶密封材料有哪些
- 发布时间：2023-03-08 浏览量：785
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真空系统中，橡胶是一种被普遍应用的真空密封材料，良好的弹性、耐磨性以及机械强度，广泛应用于低真空、高真空系统中。接下来为您介绍真空系统密封中常用的几种橡胶密封材料。
1、天然橡胶
天然橡胶是常用于粗真空或者低真空系统中的真空密封材料，透气率...
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- 氦质谱检漏仪内部泄漏怎么处理？
- 发布时间：2023-03-02 浏览量：811
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氦检是把氦气作为示踪气体充注到被检验工件中，将工件泄漏出来的氦气，通过质量分析管转换成相应的微电流信号，从而确定氦的泄漏量，进而判定工件的泄漏是否合格的一种质谱检测方法。那么如果氦质谱检漏仪内部泄漏怎么处理呢？下面我们一起来了解。
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- 快收藏，常见的几种使用氦质谱检漏仪检漏的方法教给你
- 发布时间：2023-02-20 浏览量：991
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目前，电子产品监督检验部门，生产厂家广泛使用氦质谱检漏仪进行产品质量监督，并且已经建立了自己的标准和方法。在电工和电子工业中，根据不同产品对密封的要求多采用喷吹法，吸入法和加压法等检漏方法。
1、喷吹法检漏
喷吹法检漏是将被检...
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