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氦质谱检漏仪常用方法对比【全】
发布日期：2023-02-23 浏览次数：1815
| 常规可检测漏率 | 极限可检测漏率 | 准确性 | 适用场景 | ||
| 箱式真空法 |
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10-7 mbar.l/s | 10-12 mbar.l/s | 准确 | 具备注氦条件的工件检漏 |
| 背压法 |
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10-9 mbar.l/s | 10-12 mbar.l/s | 准确 | 完全密封件，如半导体芯片封装检漏 |
| 整体吸枪法 |
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10-7 mbar.l/s | 10-12 mbar.l/s | 准确 | 漏率较大，且不适合真空法的工件检漏 |
| 喷氦法 |
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10-5 mbar.l/s | 10-9 mbar.l/s | 较准确 | 精密仪器、真空钎焊、管道、压力容器等 |
| 局部吸枪法 |
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10-4 mbar.l/s | 10-6 mbar.l/s | 较准确 | 空检替代、不良品漏点排查 |
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