影响系统真空的几点要素

真空，实际上指的是一种低压的、稀薄的气体状态，而不是指“没有任何物质存在”！常温常压下，每cm3空间内大约有 2.7×10+19 个气体分子。每 cm3空间内仅有数百个气体分子对应气压10-11 Pa。

假设一个容器的容积为 V，初始压强为P，则容器内原有的大气量为V*P单位Pa·m3；真空系统的任务就是抽除被抽容器中的各种气体。我们可以把被抽容器中所产生的各种气体的流量称为真空系统的气体负空系统的主要气体负荷除容荷。真器内原有的空间大气外，还有放气Qf 、 渗气Qs、漏气QL和蒸气Qz  但他们的 气流量都是微小的。

随着容器中压强的降低，原有的大气迅速减少，当抽空至1～10-1Pa时，容器中残存的气体主要是漏放气，而且主要的气体成分是水蒸汽。一般来说，油封机械泵的特性是在大气压到100Pa时抽速近似为常数，在100～O.5Pa时抽速变化较大，大多数真空泵的抽速都随其入口压强的变化而变化，尤其是机械真空泵，当其入口压强低于10Pa时，泵的抽速随其入口压强的变化更为显著。油封机械真空泵的实际抽速S随其入口压强的降低而降低，在不同压力区间的取值如表：

1放气Qf

被抽容器内一旦被抽空，暴露于真空下的各种材料构件的表面就将把原来在大气压下所吸收和吸附的气体解析出来，这部分气体来源我们称之为放气，单位时间内的放气流量可以用Qf来表示；

2渗气Qs

大气通过容器壁结构材料向真空室内渗透的气体流量，以Qs表示。渗透的气流量即是大气通过容器壁结构材料扩散到容器中的气体流量。气体的这种渗透是有选择性的，例如：氢只有分离为原子才能透过钯、铁、镍和铝；氢对钢的渗透将随钢中含碳量的增加而增加。氦分子能透过玻璃。氢、氮、氧和氩、氖、氦能透过透明的石英。一切气体都能透过有机聚合物，如橡胶、塑料等。但是隋性气体都不能透过金属。除了有选择性之外，渗透气流量Qs还与温度、气体的分压强有关。在材料种类、温度和气体分压强确定时，渗透气流量Qs是个微小的定值。

3漏气QL

大气通过各种真空密封的连接处，通过各种漏隙通道泄漏进入真空室的漏气流量QL  。对于确定的真空装置，漏气流量QL是个常数。漏气流量通常可通过所说的压升率，即单位时间内容器中的压强增长率Px来计算

4蒸气Qz

液体或固体蒸发的气体流量QZ。空气中水分或工艺中的液体在真空状态下蒸发出来，这是在低真空范围内常常发生的现象。在高真空条件下，特别是在高温装置中，固体和液体都有一定的饱和蒸气压。当温度一定时，材料的饱和蒸气压是一定的，因而蒸发的气流量也是个常量。