氦质谱精密检漏仪的结构组成

氦质谱检漏仪器大家一定都很熟悉。它通过质谱室的核心供电和测量，所以作为供电的核心部分，其中一部分属于真空部分，对这部分的核心检测要求非常高，通过检测中获得的检测数据输出形成核心装置。

然后氦质谱检漏仪主要通过控制电流输出的大小，由于气密性检测仪离子流收集极接收到的离子流很小，必须放大后才能显示输出。通过交流放大器放大调制的离子流。输出信号由显示仪表和声音装置(扬声器)指示。

二是低频发生器。低频发生器产生频率为5~7Hz，振幅为14~16V的调制电压，该电压叠加在加速电压上，实现离子流调制。

(3)高压整流器和发射电流稳定装置。发射电流稳定装置是调节灯丝加热电流，从而保持灯丝发射电流稳定，提高灵敏度。发射电流可以分几个档次进行有级调节，以改变仪器的灵敏度。

(4)高压整流器提供冷阴极磁控电源。真空规放电电流指示气体压力值，由仪器显示，其放电电流也作为继电保护的输入信号。当质谱检漏仪室真空度恶化时，放电电流增大，使继电器动作，然后切断灯丝加热电流，保护灯丝不被烧毁。

氦质谱精密检漏仪的特点：

1.检测时间和周期很短，可达5s以内；

二、检测介质较为常用，只需压缩空气即可；

三、不受主观因素判断的影响；

4.准确检测数据；

5.自动生成数据保存，追溯数据来源。