从气泡法到便携检漏仪，一文了解真空检漏技术的发展

检漏技术的发展

检漏技术在真空领域占有非常重要的地位，它关系到真空设备的各项真空指标。如何快速精准地找到漏点，关系到企业的生产效率与经营成本。

检漏技术是一门不断发展、不断完善的技术，多年来，人们创造了很多检漏方法。

上世纪四十年代以前的技术非常简单，比如气泡法、电离计法等。当时，漏率ZUI高只能检测到10^-7Pa·m^3/s。

后来，经过不断的完善与提高，在1950~1960年代，研制者朝着提高灵敏度的方向努力，使灵敏度一度达到了10^-15Pa·m^3/s。

然而实践证明，单一追求高灵敏度并非合适，这会给检漏仪的生产制造带来一些麻烦。后来，人们将精力主要放在了仪器的稳定性、可靠性、小型化、简单化、检漏过程迅速化上面。

当今常见的氦质谱检漏仪，灵敏度在10^-9~10^-13Pa·m^3/s。较为先进的检漏仪压力在几万Pa就可检漏。便携式的检漏仪，一个人就可以搬运。甚至有些检漏仪已经可以通过手机APP远程控制检测。

这些技术上的进步，使检漏工作的效率和便利性得到很大提升，应用氦质谱检漏仪已经成为检漏技术中的主要方法。

氦质谱检漏仪的基本原理与组成

氦质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。

目前的氦质谱检漏仪基本上都是磁偏转型的，现以180°的磁偏转型检漏仪为例加以说明。图1是检漏仪的原理图。

在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下，离子聚焦成束，并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。其偏转半径按下列公式计算：

R=1.8（MU）^1/2/H

式中，R为偏转半径（cm）；H为磁场强度（A/m）；M为有效质量，即离子质量和电荷质量之比；U为加速电压（V）。

由上式可以看出，当H和U为定值时，对应于不同的M，有不同的R。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2，到达收集极K而形成离子流。

利用弱电流测量设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束（如图中M1、M3）则以不同的偏转半径而被分开。