​氦质谱检漏仪在真空度校验中的应用

氦质谱检漏仪是利用氦气作为示漏气体，用气体分析仪用氦气进行检漏的质谱仪。

氦是一种惰性气体，不会对设备产生腐蚀，不与真空器件起化学反应，无毒，也不会污染环境，因此使用起来也十分安全。对容器环境和质谱环境干扰较小，常作为泄漏气体使用。

在接有检漏仪(即调整到只对氦气反应的工作状态的气体剖析仪)的被检容器上喷射该气体，如果容器有漏孔，分析仪就会发出响声，从而知道漏孔的位置和漏气量。氦质谱检测泄漏技术是真空检测领域中不可缺少的一项技术，由于其检测效率高、简便易行、仪器反应灵敏、准确度高、不受其它气体干扰等特点，在电阻炉检测泄漏中被广泛应用。

将氦气注入到一定的压力下，然后用正压式探伤装置探伤所有接头。发现有漏点的记录将与起泡器序列号一一对应，如果出现超出用户设置的大允许结果漏点，将立即予以回放。接着，10台一排排的起泡装置上安装了无油前级泵和涡轮分子泵。通过软件的完全控制，外部管道抽真空和保持工作状态，然后操作员使用外部喷雾观察所有接头，质谱系统就可以监控任何氦泄漏。经漏水测试后，将汽化器抽真空，烘烤。

试验后，质谱仪系统将对气泡体及连接管内气体进行主动分析。为确保实验结果的准确性，所有鼓泡器中水、氧和溶剂的浓度都必须小于1ppm。测试后，应提醒操作者测试结果是否合格，并记录所有的测试数据，以便追踪。

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