​高纯气体管路喷吹法氦质谱检漏

a.测试目的

利用氦质谱仪感测漏入系统中的微量的氦气来测漏的，并根据检测到的氦气的量来确定漏率的大小，此法适用于所有的高纯气体和特殊气体管路输送系统。

b.相关名词及解释

真空度：处于真空状态下的气体稀薄程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。

真空度单位：Torr 、Pa。

1托=1/760大气压=1毫米汞柱

1托=133.322帕

1帕=7.5×10-3托

漏率：密闭真空空间在外界标准大气压和单位时间内， 物质泄漏的速率。

漏率常用单位：Pa.m3/sec、mbar.l/sec、atm.cc/s

10 Pa.m3/sec=1 mbar.l/sec=1 atm.cc/s

分子泵：通过高速旋转的叶轮，当气体分子与涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。

c.测试仪器

氦质谱检漏仪

d.测试前准备

（1）系统成功的的通过了保压检漏。

（2）确认系统的所有部件都能承受得住真空状态而不损坏。

（3）先对测漏仪本身阀组及连接管路进行漏率检测。

（4）测漏仪与系统管路接通前，要将被测系统内的气体释放掉。

（5）缓缓打开测漏仪入口处的阀门，将测漏仪与管路系统隔离阀之间的管路抽真空，直至测漏仪显示的背景漏率低于 1× 10-9 mbar.l/s。

（6）对连接管路上所有的焊道及机械连接处进行氦气喷吹。

（7）确定连接管路没有漏后，关闭测漏仪入口处的阀门。

e.测试方法

（1）确认系统上压力表/计是可以承受负压的复合型压力表/计。如果不是，要把压力表/计拆下来，并用堵头封口。确认系统中所有的阀门和调压阀都是全开的。

（2）通常氦检漏工作需要两个人，一个人喷吹氦气，另一个人监视检漏仪的指示。

（3）确认系统中的压力0，如果系统中还有正压，要先将系统中的气体放掉。缓缓打开系统与检漏仪的隔离阀。

（4）缓缓打开检漏仪入口处的阀门，开始将系统抽成真空状态。遵照检漏仪的操作说明操作，直至达到可以检测的状态。

（5）记录下检漏仪的背景氦漏率，该背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以进行喷吹工作。

（6）检漏仪在检测过程中不能做清零的动作。

注意：如果在检漏测试以前，由于其它原因(如检测或安装不当)系统中被引入了氦气或湿气，则要用高纯氮气对管路系统进行吹扫，除去氦气或湿气以便于检漏测试能顺利完成。如果背景氦漏率在30 分钟后仍无法降到低于1×10-9 mbar.l/s，测试人员可以在连接处喷吹氦气来判断哪里是否有明显的泄漏。如果没有，关掉检漏仪入口处的阀门，把系统重新充进高纯氮气，断续吹扫系统中的每一个部分至少一次，然后将系统连续吹扫30分钟后再重新作检测。

（7）从ZUI靠近检漏仪的焊道或连接处开始检测，将氦气用喷枪喷吹到焊道或连接处，使得氦气会停留在焊道或连接处一段时间，确认没有泄漏后，进行下一个焊道或连接处的检测，直到ZUI后一个焊道或连接处。

（8）如果发现检漏仪的指示值有上升的现象，待到检漏仪读值恢复正常后，重新检测该焊道或连接处以确认其是否真的有漏，如果确认不是该焊道或连接处有漏，要依次检测该焊道或连接处之前的焊道或连接处，直到找到漏点为止。

（9）直至所有的接点都被检测到，检测合格的接点要贴合格标志。所有的接点都喷吹过氦气后，继续观察检漏仪的读值10分钟左右，确认读值没有异常后才可以将系统与仪器之间分离开。

（10）关闭检漏仪入口处的阀门。如果每个接点的氦气漏率都低于1× 10-9 mbar.l/s (mBar l/sec)，说明该系统的漏率是符合要求的。测试人员可以将检测结果记录在检测报告里了。

（11）关闭系统的隔离阀，将检漏仪与系统分开。

注意：对高纯管路及部件的操作要遵照业主相关规定，确保管路及部件没有被污染及损坏。

双层管路的检漏步骤：

（1）双层管路的外管只有在内管安装完毕并经检测合格后才能焊接。

（2）双层管路的外管的安装不需要象安装内管一样严格要求洁净品质，所以不需要做洁净度检测，但其密闭性检测要求仍然要与内管一样。

外管的氦质谱检漏步骤，等同于上述检漏步骤。

检测完毕后，外管或者被抽成真空状态(-30 in/hg)，或者被充进60PSIG的氮气(如果管路附有加热袋)，由于管路附有加热带，外管要充进60 PSIG 的氮气 。继续观察外管上的压力指示表/计 24 或 48 小时，确认压力没有变化。

安徽诺益科技提供氦质谱检漏仪完整的产品线, 从便携式氦质谱检漏仪到检漏模块, 提供负压检漏 (真空法) 和正压检漏(吸枪法), 满足各种应用. 氦质谱检漏仪与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损检漏的同时可以检测出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC.