高纯气体管道氦质谱检漏仪的应用

在气体管道工程中，由于施工中的各种因素，一些管道等连接处可能存在肉眼无法察觉的小孔，使用时会导致泄漏和事故。特别是在半导体、集成电路等微电子行业输送超高纯电子气体的气体管道工程中，如果发生泄漏，将对生产安全产生很大影响，因此泄漏检测非常重要。下面我们一同了解高纯气体管道是怎么使用氦质谱检漏仪测试的，内容仅供参考，如有遗漏欢迎指正交流。

高纯氦气、氢气管道用于输送氦气、氢气。管道主要用镀锌管，法兰，三通阀门，止逆阀门连接来进行气体的输送调节，具有良好的机动性能。考虑安全性和成本考虑，防止氦气或者氢气的泄漏，需要对组装完成的管路进行检漏。

常说的氦检是什么？

首先，我们要了解，气体管道的五项测试是QC中最重要的一部分，这五项测试分别是：保压测试、氦气检漏测试（氦检）、水分测试、氧分测试和颗粒测试，确保气体管道系统的品质达到一定的水准和满足客户的需求。

氦气管道检测同样适用于氢气管道检测，采用氦质谱检漏仪正压法检测，检测方法：在无横风条件下，将氦气管道进行密封留一个检漏口，先抽真空然后充入0.1Mpa压力氦氮混合气体，氦氮比例为1：10，静置30分钟，待氦氮混合气体充分分布于管道内，用吸枪连接检漏仪后对连接口，焊缝等可以漏点进行吸氦检测。若管道有漏，氦气会被吸枪吸入检漏仪内，超出氦检仪本底值会自动报警，用此方法依次排查直至整个管道检测完毕方可找出所有漏点。

氦气是如何检漏的呢？

众所周知，在元素周期表中，氦（He）的相对分子质量是除氢（H）以外最小的，是最轻的惰性气体。气体管道的氦气检漏（氦检）利用的就是这一点。

向被测管道中注入氦气，氦气是除氢气以外最轻的气体，氦气在自然状态下会向上垂直扩散，如果管道中存在漏点，利用氦气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中的性质，我们就能够通过氦检仪探测出氦气的百分比，判断出管道系统的泄漏率是否符合国家标准。这就是管道中氦气检漏的方法。

注意：对高纯管路及部件的操作要遵照相关规定，确保管路及部件没有被污染及损坏。

安徽诺益科技生产的氦质谱检漏仪凭借卓越的品质及稳定的性能已广泛应用在众多行业上，满足各种应用. 可满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或PLC.公司建立了完善的售后服务体系，配备了专业的维修工程师，对客户的服务要求实行24小时响应，为产品的稳定运行提供了有力的保障。更多氦检技术，欢迎留言讨论！