诺益氦质谱检漏仪常见错误代码分析和处理
发布日期:2022-07-11 浏览次数:9506

错误代码 |
含义 |
原因 |
检查排除 |
10 |
标漏时重复抽空次数过多 |
1:检漏口压力抽不下,检漏口未接好或者漏孔故障。 2:V2阀没打开或打开不完全。 |
1:检查检漏口大漏,检测漏孔 2:检查V2阀 |
16 |
启动超时 |
分子泵无法正常加电。 |
检查分子泵 |
20 |
阳极高压错误 |
灯板检测离子源阳极电压错误 |
检修阳极供电、离子源电缆、灯丝板 |
21 |
发射电流低 |
灯板检测离子源发射电流低 |
按停止键,重新启动 |
22 |
发射电流高 |
灯板检测离子源发射电流高 |
按停止键,重新启动 |
23 |
灯板24V故障 |
灯板24V电压异常 |
检修灯板 |
24 |
80V电压故障 |
灯板80V电压异常 |
检修灯板 |
26 |
分子泵未就绪 |
分子泵没有启动完成 |
检查前级真空、分子泵自身判断 |
27 |
分子泵通讯故障 |
主控板没有检测到分子泵通讯 |
检修通讯线路、主控板 |
36 |
分子泵通讯超时 |
主控板长时间没有检测到分子泵通讯 |
检修通讯线路、主控板 |
36 |
分子泵转速过低 |
分子泵转速没有达到正常工作转速 |
检查分子泵电源和连线 |
37 |
分子泵故障 |
分子泵损坏或电源异常 |
检查分子泵电源和连线 |
38 |
分子泵警告 |
分子泵过热 |
检查检漏口真空度是否过高。 |
39 |
分子泵排气口压力高 |
前级泵和真空管路真空异常 |
检查机械泵是否工作和真空管路 |
40 |
待机时,分子泵排气口压力高 |
待机时前级泵和真空管路真空异常 |
检查机械泵是否工作和真空管路 |
告警代码 |
含义 |
原因 |
检查排除 |
1 |
吸枪模式定标时,本底值低 |
定标时采集本底值低 |
吸枪是否有堵 |
2 |
吸枪模式定标时信号值低 |
环境中氦气本底太高或者标漏失效及灯丝老化。 |
等待环境中本底下降后再标漏,或告知生产商 |
3 |
吸枪定标异常 |
环境中氦气本底太高或者标漏失效及灯丝老化。 |
等待环境中本底下降后再标漏,或告知生产商 |
6 |
检漏时分子泵排气口异常 |
电磁阀内漏或检漏口真空度差 |
检查检漏口连接真空管路。 |
9 |
大漏保护 |
检漏口真空度突然变大 |
检查检漏口真空管路是否异常 |
10 |
抽空超时 |
检漏口真空度抽不下来 |
检查检漏口真空管路是否封堵 |
11 |
吸枪堵 |
请检查吸枪过滤器 |
查看检漏口压力是否异常 |
12 |
吸枪漏 |
请检查检漏口进入检漏状态后检漏口压力是否>300pa |
查看检漏口压力是否异常 |