​机械泵对氦质谱检漏仪灵敏度的作用

机械泵对氦质谱检漏仪的灵敏度有一定影响。机械泵不能完全排除氦气分子，可能会导致检测结果出现误差，从而降低检测灵敏度。因此，在进行氦质谱检漏时，为了提高检测的精度和灵敏度，通常需要采用高真空泵或者涡旋分子泵等超高真空泵来配合使用，以更好地排除氦气分子，达到更高的检测灵敏度。

机械泵的主要作用是为涡轮分子泵的启动提供必要的前级真空。常用的机械泵主要包括涡旋干泵、隔膜泵和油密封机械泵。

隔膜泵抽速较低，但是体积小，一般用于小型的分子泵组。

油密封机械泵是过去用得最多的机械泵，特点是抽速大、极限真空好，缺点是普遍存在返油的情况，在超高真空系统中使用一般需要配备电磁阀（用于防止意外断电造成返油）和分子筛（吸附作用）。

近年来用得较多的是涡旋干泵，优点是使用相对简单，不会返油，但是抽速和极限真空要略差于油密封机械泵。

相比之下，分子泵可提供更高的真空度，能够将气体分子加速到高速，并使其在表面附着形成薄层，从而实现超高真空抽取。分子泵对于氦质谱检漏仪的检测精度提高很大，能够有效地排除氦气分子，减少检测误差。

分子泵的高转速使得它十分“脆弱”。一粒灰尘甚至气体本身都会对运转中的风扇造成巨大的伤害。所以分子泵只可以用来抽已经具有一定真空度的腔体，并且其出气端也要保证有较好的真空度防止气体倒灌伤害叶片。

涡轮分子泵是依靠高速旋转的叶片（通常在每分钟1000转左右）来实现气体的定向流动，泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比与泵的级数、转速和气体的种类有关，一般分子量大的气体压缩比较高。对氮的压缩比为 10∧8 ～10∧9；对氢为 10∧2 ～10∧4。涡轮分子泵的极限真空一般认为在 10∧-9到10∧-10 mbar。近年来随着分子泵技术的不断进步，极限真空有进一步提升。

由于涡轮分子泵的优势在分子流状态（气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态）下才能体现，因此要求配有工作压力为 1～10∧-2Pa的前级真空泵。由于叶片高速旋转，如遭遇异物、抖动、撞击、共振或气体冲击，会造成分子泵的损伤或损坏。对初学者来说，最常见的损伤原因是操作失误造成的气体冲击。只有先用机械泵将腔体中的真空度抽至10Pa以下的时候，分子泵才可以启动。并且只要分子泵在启动状态，前级机械泵就要一致维持运转。启动和关闭都要严格遵循程序，否则就可能造成“机毁泵亡”哦。

机械泵引发共振也会导致分子泵的损坏。这种情况虽然比较少见，但因为较为隐蔽，不易发现，需要特别注意。

安徽诺益科技生产的氦质谱检漏仪凭借卓越的品质及稳定的性能已广泛应用在众多行业上，满足各种应用. 欢迎讨论交流！