氦质谱检漏仪发展历程（二）

经过将近半个世纪的努力，今天的氦质谱检漏仪已经告别了四十年代初。

主要表现在以下几个方面：

(1)便携：近来各国推出的小型便携检漏仪，不仅灵敏度高，而且携带方便，为野外工作和高空作业提供了较大的方便。

(2)高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕，对于大系统、有漏的工件的检测非常有用。

(3)高度自动化：氦峰自动标定，自动调整零点，量程自动转换，数据自动处理，可外接打印机。全机采用微电脑控制，具有选菜功能，一键即可完成全检漏过程。

(4)完全不含油的干式检漏：一些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，以达到无油蒸汽效果，为无油系统和晶片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

(5)检漏范围：现今生产的四极检漏仪，质量范围很广，不但可以探测氦气，还可以探测其他气体。以分子泵排气系统代替扩散泵的排气系统，不仅解决了油蒸汽对质谱室的污染问题，而且在仪器的快速启动和停机等方面发挥了重要作用。为了适应检漏口压力的变化及对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多段式结构，多转速。如采用改变分子泵转速，可以达到这一目的，并提高检漏灵敏度。此外，反扩散检漏方式实现了高压强下检漏，也为正压吸枪检漏提供了良好的条件。

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液氦检漏仪工业应用

氦质谱检漏仪的应用已从科学院、高等院校、实验室和少数科研机构发展到工矿企业，甚至乡镇企业，可以说它的应用范围是极其广泛的。

(1)航空航天高科技产业。

1)例如，火箭发动机和姿态发动机，过去靠压制肥皂水的检漏，现在要对过程中用的氦质谱检漏仪进行检漏，用正压枪和氦罩法结合，使检漏灵敏度大大提高，从而保证了发动机的质量。采用正压吸枪、氦罩法、累积法等多种方法对火箭箭体进行检漏。该技术的应用提高了检漏灵敏度，弥补了吸入法检测时仪器灵敏度低的不足。

2)KM6空间环模装置设备庞大，主真空室直径12m、高22m，另有辅助真空室、载人舱等。体积为3500m3，分系统多，结构复杂，各种接口焊缝相加数千米，用氦质谱检漏仪负压检漏，每个焊缝用检漏盒密封，再用铺好的抽气系统将盒内抽低真空的气体充填，然后用漏气盒进行充填，然后用充气系统将其充填。因为盒内氦浓度较高，相对检漏仪又有一定的压力，有效地提高了检漏灵敏度。

3)卫星、各种阀门、电子元件、传感器等在航天工业中广泛使用检漏检漏技术。

(2)电力工业。

SF6高压开关、氧化锌避雷器是电厂及野外输变电的重要部件，常因漏电造成大面积或局部停电，影响工业生产，也影响人民的正常生活。由此造成的经济损失有时是难以估计的。

1)高压开关在箱体为铝铸件，常易有砂眼，且漏孔结构复杂，不易清洗。通常采用检漏盒或氦罩法，即将被检件抽真空，然后向罩内注入氦气，等一段时间，确定总漏率的大小。由于氦气用量少，检测灵敏度较高。

2)氧化锌避雷器，是采用不同截面积、厚度、数量不同的氧化锌片，按照电压的高低要求，装在瓷套中，充氮后密封。它的工作原理是：在高压输出中遇雷击、氧化锌片电阻减小、大电流对地短路、输电线路受到保护。如外泄造成内外压力差，外露的湿气有可能进入，破坏氧化锌片特性，造成爆炸。

3)电力工业中，在电厂检漏、高压变压器、高压电容器、高压开关管及其他元器件均采用氦质谱检漏仪，以不同方法进行检漏。

(3)电子业。

微波炉，电子管，电晶体，集成电路，密封继电器，各种传感器，心脏起搏器。

(4)真空行业、仪器仪表行业。

管路、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各种排气器、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、高能加速器、医用加速器、辐照加速器、镀膜真空计。

（5）核工业。

铀矿分离器，储藏设备，核反应堆。

(6)制冷业。

电冰箱、空调、溴化锂机组、汽车空调、蒸发器、冷凝器、压缩机、低温贮槽。

(7)不锈钢绝缘器。

隔热的杯子、瓶、壶、饭盒等。

(8)军事工业。

核能、航空、航天、轮船、兵器、军用电子六大类。