氦质谱检漏仪的优点集中在这四个方面。

气体工业中的术语是氦质谱检漏仪，它是用氦或氢作为泄漏气体，用气体分析仪检测氦并泄漏的质谱仪。

氦质谱检漏仪没有手动阀，自动控制阀自动调节误差。用涡轮分子泵代替扩散泵，以消除涡轮分子泵引起的油回流。检漏仪还采用计算机技术。计算机自动完成操作、控制和输出数据。用阴端射线管显像屏代替典型的示波器。整个操作可以通过不同的按钮自动完成。

目前，泄漏检测设备已渗透到军工、航空航天、新能源、电子设备、阀门、电力、核能、制冷、家电等行业。未来几年，检漏仪将在许多工业领域得到新的应用。

氦质谱检漏仪的优点集中在以下几个方面:

(1)便携性:许多小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，为野外作业和高空作业提供了极大的便利。

(2)高压强下检漏:检漏口的压力可高达数百帕，对于检测大系统和泄漏工件非常有用。

(3)高度自动化：氦峰自动标定，零点自动调整，量程自动转换，数据自动处理，可外接打印机。全机由微电脑控制，具有选菜功能，一键完成全检漏过程。

(4)完全无油的干式检漏:一些国家生产的检漏仪可以采用干式泵，达到无油蒸汽的效果，为无油系统、晶片等半导体器件的检漏提供了有利条件。

为适应检漏口压力的变化和对灵敏度的不同要求，分子泵一般采用多段结构，多速。如果改变分子泵的转速，可以达到这个目的，提高检漏灵敏度。此外，反扩散检漏方法实现了高压强下检漏，也为正压吸枪检漏提供了良好的条件。

氦质谱检漏仪质量范围广，不仅可以检测氦气，还可以检测其他气体。用分子泵排气系统代替扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且在仪器的快速启停方面发挥了重要作用。