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实漏、虚漏、内漏、外漏,如何判断
实漏、虚漏、内漏、外漏,如何判断
发布时间:2021-09-23 浏览量:1464
部分真空系统的表现会随时间的推移而变化,特别是用于生产的真空设备,几乎不可避免地会发生真空度下降等问题,造成这些问题的一个很常见的原因就是泄漏。 定期的泄漏检测很重要 大的泄漏通常会非常明显:真空腔体压力未按正常速度下降,或者极限压力明显...
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采用背压法进行检漏的具体方法
采用背压法进行检漏的具体方法
发布时间:2021-09-23 浏览量:1463
背压检测是真空系统检漏的基础方法之一,它综合了压力检漏和真空检漏的特点。在氦质谱检漏、反压法的应用原理上也是一样的,今天就一起来看看氦质谱检漏法中的背压法。 回压检漏是一种适合于体积较小的被检件如半导体真空密封装置的无损检漏的方法。其检...
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氦质谱负压检测是什么?
氦质谱负压检测是什么?
发布时间:2021-09-23 浏览量:1294
一、为什么要检漏? 泄漏和密封相对应 很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工...
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从气泡法到便携检漏仪,一文了解真空检漏技术的发展
从气泡法到便携检漏仪,一文了解真空检漏技术的发展
发布时间:2021-09-18 浏览量:1297
检漏技术的发展 检漏技术在真空领域占有非常重要的地位,它关系到真空设备的各项真空指标。如何快速精准地找到漏点,关系到企业的生产效率与经营成本。 检漏技术是一门不断发展、不断完善的技术,多年来,人们创造了很多检漏方法。 ...
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氦质谱负压检测是什么?
氦质谱负压检测是什么?
发布时间:2021-09-18 浏览量:1341
一、为什么要检漏? 泄漏和密封相对应 很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作...
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