- 真空检漏技术的相关概念
- 发布时间:2019-09-26 浏览量:2043
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真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。
漏气也叫实漏,是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。
虚漏,是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中...
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- 为什么要检漏
- 发布时间:2019-09-26 浏览量:2202
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泄漏和密封相对应
很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生...
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- 氦质谱检漏仪在压力容器中的常用方法
- 发布时间:2019-09-26 浏览量:2038
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在压力容器中,使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种,即喷氦法(负压法),吸枪法(正压法),氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言,喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时,也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。
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