​氦质谱检漏仪应根据检测目的选择合理的检漏方法

氦质谱检漏方法有很多种，根据被检部位的测量目的可分为漏点型和漏率型。在实际检测过程中，应根据检测目的选择最合理的检漏方法，并根据被检测设备的具体情况灵活使用各种检漏方法。

一、测定漏点型

确定泄漏点型不仅是氦质谱检漏仪确定待检零件的具体泄漏点或泄漏孔位置，而且在大型零件或大型零件中也很常见，如卫星、导弹体、弹头、燃气管道、储气罐、油罐、锅炉等。

1、喷氦法

这是用于检测待连接到仪器的设备相对较小部分的最常用方法，在良好真空后，使用喷枪在被测设备可能存在泄漏的地方（例如密封接头、焊缝等）喷射氦气。

如果被测设备的一个部分存在泄漏，当氦气喷射到泄漏处时，氦气立即被吸入真空系统，当气体分散到质谱仪室中时，氦气泄漏检测器的输出将立即响应。以这种方式，应当注意，氦是一种轻惰性气体，在被喷射后自动上升，为了准确地将氦喷射到泄漏孔中，应当从上到下和从近到远（相对于检漏器位置）喷射氦。

此外，泄漏孔与质谱仪室的反应时间不同，因此，氦注入应从靠近检漏仪的一侧开始，并从近到远进行。

当检测较大的零件时，使用机械泵进行真空预抽可以提高泄漏检测的效率和时间，当有许多密封和焊缝并且它们挤在一个小容器中时，由于氦注入后的快速扩散，不容易准确确定泄漏位置，因此我们应该从不同角度喷射氦，仔细观察反应时间和泄漏的差异，发现用真空密封泥浆临时密封，等等，可以将泄漏孔一个接一个地出来。

2、吸氦法

吸氦法主要用于检查一些大型密封容器。

例如，弹体、弹头、气罐、油箱等，首先将容器抽真空，然后填充氦气（为了节省氦气量，可以使用低浓度氦气），将橡胶管连接到氦质谱检漏仪的入口法兰，橡胶管的前端设有一个直径非常小的毛细管，使毛细管在焊缝和待检充氦容器外壁的密封接头等处移动，如果容器发生泄漏，泄漏的氦气将被吸入毛细管，检漏仪将作出响应。

二、测定漏率型

测定漏率型主要用于检测密封要求严格的零件，如航天器、火箭液体燃料储罐、卫星、电子元件等。该方法只能检测试件的泄漏率，不能确定泄漏孔的位置和数量。

1、充氦法

充氦法也称为负压法 ，一个密闭的气室将真空泵和氦气罐连接在一起。

将受检零件放置在腔室中，并关闭氦气罐阀。机械泵首先将腔室抽真空，然后关闭真空泵阀，打开氦气罐阀，用氦气填充腔室，并让其静置一段时间。如果被氦气包围的小型设备发生泄漏，氦气将缓慢地填充到设备中。然后打开腔室，移除装置，并使用压缩空气吹走可能吸附在外表面上的任何氦。然后将这些装置逐个（或成组）放置在与检漏器入口法兰相连的容器中。容器排空，节气门打开，泄漏检测器将给出泄漏率响应。

卫星的整体泄漏检测就是使用的这种方法，卫星以这种方式放置在大型环形模具室中，并且使用环形模具设备的真空系统将环形模具抽真空。首先，用辅助泵对环形模具进行粗加工和预抽，在检漏中，首先用机械泵将卫星和充气管抽入真空，然后将氦气充入卫星，根据卫星工作的压力保持压力，最后打开氦质谱检漏仪的标准检漏校准仪，可以直接测量卫星的泄漏率。

2、钟罩法

氦质谱检漏仪通过真空橡胶管与试样连接，试样用密封容器覆盖，容器中充满氦气。该方法可用于测量导弹储液罐的泄漏率。罐体上的氦气盖为塑料膜，罐体为粗抽预抽。检漏仪用标准泄漏孔校准，氦气盖充满氦气，可以测量储罐的泄漏率。

氦质谱检漏技术是真空检漏领域不可或缺的技术，利用该技术检漏效率高，操作方便，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体干扰，上述方法在检漏技术领域中经常使用，包括从小泄漏检测到大泄漏检测，从确定泄漏检测到确定泄漏率泄漏检测，更全面地列出各种泄漏检测方法，相信在工程实际应用中具有良好的参考价值。