- 氦质谱检漏仪在PECVD镀膜设备工艺中的应用
- 发布时间:2022-08-05 浏览量:2136
- 等离子增强化学气相沉积(PECVD)真空镀膜设备是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应。其优点是基本...
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- 铝合金轮毂氦质谱检漏仪法和传统检漏法的对比
- 发布时间:2022-08-04 浏览量:2293
- 氦气泄漏检测方法的推行对汽车轮毂的发展起到了非常重要的作用。目前这一技术在国内正处于发展阶段,各大铝合金轮毂厂商也逐步以此做为产品的检漏方式。 铝合金轮毂通常采用铸造工艺制作而成,因此在铸造过程中存在多孔性泄漏的风险。钢轮通常将两个轧制体...
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- 氦质谱检漏仪精度多少?盘点检漏方法的漏率对比
- 发布时间:2022-08-01 浏览量:2419
- 用氦质谱检漏仪的检漏方法很多,主要的是:正压法、负压法、氦罩法和背压法,正压法又分吸枪法和累积法等,各种方法对应的设备类型和检测精度都不一样。而汽车空调蒸发器,冷凝器常采用背压法中的真空箱法。 检漏方法精度对比 ...
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- 氦质谱检漏仪正压氦检和负压氦检区别
- 发布时间:2022-07-28 浏览量:2712
- 氦质谱检漏正压法和负压法各有所长,可以根据实际情况来选择。正压氦检的优点是操作简单,测试速度快,缺点是易受干扰;负压氦检的优点是不容易受环境的干扰,有更高的灵敏度、稳定性比较好,缺点是操作较复杂。 1.负压法氦检漏(喷氦法) ...
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- 氦质谱检漏仪压氦法检漏步骤和注意事项(全)
- 发布时间:2022-07-26 浏览量:2576
- 背压氦质谱检漏法也就是压氦法检漏,是一种适用于容积较小被检件的检漏方法,例如半导体一类真空密封器件的无损检漏。它的检漏过程与其他背压法一样包括3个步骤:充压、净化、检漏。 压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中,然后...
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